镀膜设备真空系统的设计

目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别.归纳起来主要有如下几种系统:

(1)通用真空系统 系统的主泵是油扩散泵，泵上方设有水冷挡板(阱)，主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4pa的范围内.

(2)超高真空系统 在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵.就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上.从而得到超高真空系统.由于该系统仍采用油扩散泵，所以还是有油的系统。

无油超高真空镀膜机配备无油超高真空机组.CWD-500型配备的机组是三极式:以冷阴极溅射离子泵(JLP-400型)为主泵，钛升华泵(ST-0.1型)为辅助泵.并以SP-40型分子筛吸附泵作为系统的粗抽泵。系统还带有CT-200型内装式插板阀以及全套前级真空管路、烘烤装置等.为使烘烤时便于排气或快速抽气.机组还可以用一套机械泵加吸附装置作为辅助前级泵。机组的极限真空可达6.7×10-8 Pa,在1h内可从大气压下抽到1×10-5Pa.

镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空.有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大，可以缩短工艺周期。譬如用1200L·s-1的分子泵在直径500mm的普通式高真空镀膜机上进行抽空，从大气抽到3×10-4Pa只需要18min，可见，其效果是显著的.

(3)制冷机低温泵系统 使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、运行维护方便.