在间隙不大的情况下，当温度升高时，真空泵盖子会膨胀，而泵壳却会阻止盖子的膨胀。由于此，泵壳内便会产生很大的应力，甚至使它爆裂。
为了防止真空泵由于温度应力而损坏，应该注意下列几点:
(1)很好地把真空泵的外壳绝热;
(2)开动前慢慢地均匀的把真空泵加热:
(3)避免冷却其中装有高温零件的雾件;
(4)泵壳上所有配合处应仔细地根据温度应力来审核;
(5)轴和轴承的对中性应在冷的状态下、预热的时期内、以及热的状态下加以审核，以防止轴在任何温度状态下产生变形。
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