非蒸散型吸气泵

非蒸散型吸气泵多用锆铝合金吸气材料（84%锆、16%铝）在高温下吸附活性气体的特性而制成的泵。该泵结构简单，体积小，造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油。对活性气体尤其是对氢具有很高的抽气能力。但不能抽惰性气体。此外还有一种锆钒铁合金材料（70%锆，24.6%钒，5.4%铁）作为吸气剂的活化温度450℃，室下对活性气体具有较大的抽速。

锆铝泵对氢及其同位素氘、氚的吸气是可逆的，而对其他活性气体的吸气是以稳定的化学物扩散到吸气剂体内，但存在饱和寿命问题。在10-8~1Pa压力范围内抽青速率几乎保持恒定。对气体活性气体CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸气抽率，在压力低于10-3Pa时，在400℃温度下达到饱和。该泵对活性气体的吸气速率随着吸气剂吸气量的增加而降低。当吸气速率随着吸气量的增加而达到名义抽速的80%时，要在高温下再激活处理。在激活的次数一般可达20次。

这种泵可用在受控装置中储存和释放H2及其同位素氘、氚；在高等加速器的真空系统中与分子泵或溅射离子泵同时工作，能提高真空系统的极限真空；还可以用于转运H2及其同位素；用在超高真空装置时，连同装置一起放进烘烤装置中，不用外加电源便可作烘烤时的维持泵使用；也可用于溅射离子泵的启用。