钛升华器的结构

对钛升华器的要求是：能提供所需要的钛升华率；钛升华率易于调节，可连续或间断地供应吸气剂；钛升华器本身出气少或易于去气；要有足够的工作寿命，即要有足够的钛储存量。对于不同口径、不同工作压力的泵，要求的升华率和吸气剂储量差别很大，可以从每小时几十克甚至到几百克的升华率，上千克的储存量。因此很难设计一种升华器满足这样宽的要求。通常可分为低升华率的和高升华率的两种升华器。

低升华率的升华器大多在小型系统中，用以帮助溅射离子泵启动，或者提供较大的活性气体抽速，通常把升华率每小时几十毫克，吸气剂储量为几克到几十克的升华器，称为小功率升华器。对这种升华器的主要要求是工作可靠，操作方便，结构简单。高升华率的升华器通常用于做主泵的系统中。要求升华率在每小时几克到几十克，特殊的也有每小时几百克的。为保证工作寿命，储钛量要求尽可能的多。钛升华器按加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等四种类型。