真空泵按性能、结构和工作原理的分类

(1)按性能特点和用途分类

①低真空泵:此真空泵的极限压强高于1.33Pa的真空泵属于低真空泵。常见的有往复式真空泵、旋转式真空泵、水环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

②中真空泵:极限压强在10-2~1.33pa之间的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵等。

③高真空泵:极限压强在10-6~10-2pa的真空泵属于高真空泵。各种扩散泵及分子泵等属于高真空泵。

④超高真空泵:极限压强低于10-6Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有离子泵、低温泵等。

(2)按结构特点分类

①机械式容积真空泵:这种泵是靠机械动作使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的。如往复式真空泵、旋转式机械泵等都属于此类泵。

②射流式真空泵:这种泵没有机械运动部件.主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。

③其他类型真空泵:这类泵多属于获得高真空、极高真空或高纯洁真空泵的泵类，如吸附泵、分子泵、离子泵、冷凝泵等。

(3)按工作原理分类 这是真空泵的基本分类方式，根据工作原理的不同各种真空泵可分为往复式、旋片式、滑阀式、机械增压式、喷射泵、扩散泵、分子泵、离子泵、冷凝泵等。