真空的获得是真空技术的主要组成部分，借助于多种方法，可在被抽容器中获得一定的真空度.目前可获得的真空度范围相当宽，从100kPa到10-11Pa,就电光源工业来说，也要从100kPa到10-4Pa。
因此，应按照不同的真空度要求和使用情况选择不同的手段获得真空.现有获得真空的手段大致可分为下述三类:真空泵(如机械泵、扩散泵等)、吸气剂(红磷、钡铝、钛、ZrAl16等)和蒸气捕集器(冷阱、干燥器等)。在电光源工业中，获得真空的主要手段是依靠机械真空泵和蒸气流扩散真空泵。
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