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镀膜设备真空系统的设计
目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别.归纳起来主要有如下几种系统。
定片式机械真空泵的维修
定片泵的结构全为组合式，与小五片相似。其排气阀是弹子式的，定片泵启动和正常使用必须遵守一定规程，也应规定按期换油制度。
补充水对水环真空泵性能的影响
水环真空泵在运行时，源源不断地供给补充水是必不可少的条件。不同的泵在不同的工况下，都要求不同的补充水水量，过大或过小的水量，对泵的工作都会产生不良的影响，此外，补充水水压对补充水水量和泵的容积损失有重要影响。最后，为了使补充水传给水环的能量能有效地对气体作功，使效率提高，补充水应该在液体对气体作功结束时，也就是在压缩腔的最高点进入，这样水环获得充分的能量，在下次循环回转时又可重新开始工作。
保持真空泵真空度严密性的方法
为保持真空泵严密性，加强检测手段，在真空泵生产制造过程中，力求设备漏点尽可能少。对结合点进行探伤检查，另外在设计上尽量减少现场安装时的结合点，使现场安装工作的焊接量尽可能少。此外，进入系统的空气量不但与蒸汽量有关，更主要的与处于真空状态下的各个设备的严密性和安装质量有关。

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